浅谈半导体厂房内部结构

总结与整理，发现其主要具有以下几方面的结构系统。第一方面，洁净室天花板系统。该种系统的建设主要由天花板框架；支承结构；FF等部分组成。第二方面，洁净室新风系统。该系统的运行对洁净室内的通风进行保障，提供工作人员所需的氧气以及通风条件。第三方面，机械排烟系统。该种系统对室内的空气环境进行保障。第四方面，冷冻水系统。该系统由低温离心式冷水机组、中温离心式冷水机组等共同组成[1]。第五方面，温水系统。该系统主要通过蒸汽锅炉房以及热水锅炉房所组成。第六方面，油罐系统。主要是为满足柴油发电机及锅炉所需的燃料而建设的系统。第七方面，工艺真空系统。该种系统采用U-PVC对工艺真空系统的管道进行建设而成。第八方面，常温循环冷却水系统。第九方面，工艺设备冷却水系统。第十方面，生产、生活给水系统。第十一方面，电力配电系统。第十二方面，照明系统。第十三方面，仪表与控制系统。第十四方面，纯水安装工程施工及调试。第十五方面，废水安装工程及调试[2]。

二、半导体厂房内部温水系统

（一）热水锅炉房

在该系统的建设过程中，其采暖热负荷为1000kW；加湿使用的蒸汽量为550kg；纯水用蒸汽量为300kg。在本文对热水锅炉房进行设置的过程中，共建设2台真空热水锅炉，该锅炉的具体制热量为930kw，其内部还放置换热器，以保障功能的实施。在该锅炉房的建设过程中，其使用的燃料为天然气，备用的燃料为轻柴油。在具体的使用过程中，其供给热水温度为32/38℃，为厂房的热水使用提供极大的便捷性。在锅炉房的建设过程中，其热水泵主要是选择了2台150m3/h，且扬程为0.32MPa的离心式水泵[3]。在该热水锅炉房的热水系统建设过程中，其管道的建设主要使用无缝钢管的材料，其管道的阀门主要采用蜗杆传动式蝶阀，在保温设备的建设中采用B1级橡塑保温材料。

（二）蒸汽锅炉房

在该系统的建设过程中，其蒸汽锅炉房的设置主要利用了2台蒸汽锅炉进行具体的建设，该设备的蒸发量主要为0.6t/h，同时，其主燃料的使用为天然气，其使用的备用燃料为轻柴油。该种设备的具体应用过程中，其额定的蒸发压力主要为0.7MPa。在整齐锅炉房的建设过程中，其设置的主要设备还包括洁净蒸汽发生器。该种设备的使用中，其蒸汽产生的数量为0.7t/h，通过不断的整齐制造为空调系统的正常加湿运作提供所需蒸汽。在该种蒸汽系统的补水过程，主要采用RO水进行补充，并在加热蒸汽管道建设的材料选择阶段，选择无缝钢管作为具体的管道建设材料。在阀门的建设过程中，使用蜗杆传动式的蝶阀进行具体的施工。在洁净蒸汽管道的建设过程中，其材料主要应用不锈钢的无缝钢管，具体的材质为SS304L。

三、废水处理系统

（一）处理前水质参数的确定

在对该公司的厂房进行具体的建设时期，需要对该厂房的生产废水情况进行研究与分析。经过笔者调查分析发现，该厂房的使用过程中将产生以下三种主要的废水。第一种，氨氮废水，该种废水的水量为13t/d；第二中，酸碱废水。该种废水的水量为120t/d；第三种，回收水。该种废水的水量为100t/d。在对废水的指标进行详细调查后，将该厂房的生产废水水质参数具体总结如下表1：

（二）具体施工

在对该厂房进行施工时，主要是对废水流入处理设施进行科学的建设。具体的设计与施工分为以下几方面。第一方面，高程设计；第二方面，工艺设计；第三方同时，由于该厂房的第三类废水水质处于较好的状态，能够直接作为反渗透原水。故而，在本文对废水处理系统进行建设时，暂不考虑第三类废水。

（三）处理后水质参数的确定

经过厂房的废水处理，其水质参数变化如下表2以及表3：

结论：本文通过对半导体厂房内部结构进行简单的阐述，进而从半导体厂房内部温水系统；废水处理系统安装及调试两个方面对半导体厂房的内部结构建设进行详细的分析与研究。经过对课题内容进行详细的研究与分析得出结果表明，在我国半导体厂房内部结构建设的研究领域中依旧存在一定问题。因此，在未来的研究中应进一步对半导体厂房的内部结构建设领域进行详细的研究与思考，希望本文能够为半导体厂房内部结构的研究提供几点可行性建议，并为半导体厂房的发展与建设提供积极的促进作用。

参考文献：

[1]朱守见.浅析在老旧的排架结构厂房内施工深基坑的新方法[J].中国房地产业，2016，14（04）：187-188.

[2]陈泷，王传庆，陈桢，等.三维激光扫描技术在钢结构厂房变形测量中的应用[J].黑龙江工程学院学报，2016，30（05）：29-33.

[3]倪步宽.探究结构设计优化技术在厂房结构设计中的应用[J].建筑工程技术与设计，2017，15（08）；154-155.

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